纳米压痕仪主要用于微纳米尺度薄膜材料的硬度与杨氏模量测试，测试结果通过力与压入深度的曲线计算得出，无需通过显微镜观察压痕面积。
划痕法通过使用不同的传感器（声发射、划痕位移、摩擦力）和视频显微镜观察获得临界载荷数据来量化不同的膜-基材组合的结合性能。主要研究材料的磨损或去除机制，广泛应用于薄膜或涂层结合强度的测试。影响纳米划痕过程的主要因素包括压头类型、划痕速度、划痕深度和材料特性等。
使用纳米压痕仪要满足哪些要求：
1.样品要求：上下表面平行抛光，直径不超过30mm，高度不超过20mm，如果高度超过10mm，直径需保证是30mm左右，如果直径小于10mm，那么高度建议5mm以下，利于样品测试过程中的稳固；如果是镶的样品，加工成直径31.5mm，要不然容易打偏；
2.特别注意：试样厚度至少大于压入深度h的10倍以上，压入深度h至少是粗糙度Ra的20倍；压入深度小于100nm数据可靠度不高；压入深度一般2-3微米，深度再大没有太大意义；对于表面比较粗糙的样品，测试结果比较离散，建议测试点数不低于10个；样品表面平整，不得有油污、颗粒物等污染物；提供样品的泊松比。
