纳米压痕仪主要用于微纳米尺度薄膜材料的硬度与杨氏模量测试，测试结果通过力与压入深度的曲线计算得出，无需通过显微镜观察压痕面积。
纳米压痕仪主要用于测量纳米尺度的硬度与弹性模量，可以用于研究或测试薄膜等纳米材料的接触刚度、蠕变、弹性功、塑性功、断裂韧性、应力-应变曲线、疲劳、存储模量及损耗模量等特性。可适用于有机或无机、软质或硬质材料的检测分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩绘釉漆，光学薄膜，微电子镀膜，保护性薄膜，装饰性薄膜等等。基体可以为软质或硬质材料，包括金属、合金、半导体、玻璃、矿物和有机材料等
纳米压痕技术是测量纳米机械属性的一个关键技术。虽然准静态纳米压痕支持利用负载位移曲线表征应力和应变关系，但是它需要大量的测试才能深入了解材料的行为。动态测试可以揭示材料刚度与深度的关系，允许复杂的分析。如果使用准静态试验，这些分析需要成千上万次的试验。
纳米压痕仪利用电磁驱动头和解耦的电容位移计来分别测量力和位移。这提供广泛的力和位移动态范围，可进行从纳米到毫米的变形分析。本设计具有杰出的控制能力，而这种控制能力对于完成薄膜、纳米材料、MEMS和其它器件结构的实验是至关重要的。
