纳米压痕仪主要用于微纳米尺度薄膜材料的硬度与杨氏模量测试，测试结果通过力与压入深度的曲线计算得出，无需通过显微镜观察压痕面积。
纳米压痕仪能通过实时记录力和对应位移深度的曲线来测量纳米或微米级薄膜材料力学性能。仪器不仅提供纳米压痕功能，同时也提供纳米划痕功能和台阶仪功能，即不仅可以满足薄膜硬度、弹性模量等性能的测量，还可实现薄膜与基体之间的结合力和定量表面形貌的测量。
纳米压痕仪具有哪些优势特点？
（1）试样制备简单。纳米压痕仪测试一般对试样表面粗糙度有特殊要求，对被测试样的形状尺寸并无特殊要求，压入深度在微纳米尺度，是一种无损测试方法。
（2）测量分辨力高。
（3）操作方便。利用载荷-深度曲线，可直接换算得到接触面积，无需对残余压痕面积进行测定。
（4）测试内容丰富。利用纳米压痕仪测试不仅可以获得硬度、弹性模量，还可以获得塑性参数、断裂参数、黏弹参数等。
（5）应用范围广。可广泛应用于金属、陶瓷、薄膜材料、复合材料、生物材料、特殊功能材料、微机电系统中微构件等众多材料和结构的力学测试。
