纳米压痕已被证明是实用和有效的小体积机械测试方法之一,成功应用于各种材料。生物纳米压痕仪的基本功能是对材料的硬度、弹性模量、断裂韧性、蠕变、摩擦、磨损性能等进行测定,设计的材料几乎涵盖所以的材料研究领域,比较典型的包括薄膜和纳米材料、半导体材料、金属材料、*功能材料、生物材料等。随着应用研究工作的深入,通过再压痕/划痕测试仪器的基础上改造、增添新的测试模块,仪器的功能不断得到拓展,现在压痕/划痕测试仪还可以开展材料的参与应力测量、冲击压痕测试、微悬梁臂等期间刚度系数测量、为拉伸。压缩测试、耦合高温、电场、湿润环境、多物理场等的测试以及微结构表面加工等。
(1)试样制备简单。纳米压痕仪测试一般对试样表面粗糙度有特殊要求,对被测试样的形状尺寸并无特殊要求,压入深度在微纳米尺度,是一种无损测试方法。
(2)测量分辨力高。吉大纳米压痕仪位移分辨率达到0.05nm,力学分辨率100nN。瑞士的设备力学分辨率0.5nN,位移分辨率0.05nm。
(3)操作方便。利用载荷-深度曲线,可直接换算得到接触面积,无需对残余压痕面积进行测定。
(4)测试内容丰富。利用纳米压痕仪测试不仅可以获得硬度、弹性模量,还可以获得塑性参数、断裂参数、黏弹参数等。
(5)生物纳米压痕仪应用范围广。可广泛应用于金属、陶瓷、薄膜材料、复合材料、生物材料、特殊功能材料、微机电系统中微构件等众多材料和结构的力学测试。