纳米压痕仪主要用于测量纳米尺度的硬度与弹性模量，可以用于研究或测试薄膜等纳米材料的接触刚度、蠕变、弹性功、塑性功、断裂韧性、应力-应变曲线、疲劳、存储模量及损耗模量等特性。可适用于有机或无机、软质或硬质材料的检测分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩绘釉漆，光学薄膜，微电子镀膜，保护性薄膜，装饰性薄膜等等。基体可以为软质或硬质材料，包括金属、合金、半导体、玻璃、矿物和有机材料等。
（1）试样制备简单。纳米压痕仪测试一般对试样表面粗糙度有特殊要求，对被测试样的形状尺寸并无特殊要求，压入深度在微纳米尺度，是一种无损测试方法。
（2）测量分辨力高。吉大纳米压痕仪位移分辨率达到0.05nm，力学分辨率100nN。瑞士的设备力学分辨率0.5nN，位移分辨率0.05nm。
（3）操作方便。利用载荷-深度曲线，可直接换算得到接触面积，无需对残余压痕面积进行测定。
（4）测试内容丰富。利用纳米压痕仪测试不仅可以获得硬度、弹性模量，还可以获得塑性参数、断裂参数、黏弹参数等。
（5）纳米压痕仪应用范围广。可广泛应用于金属、陶瓷、薄膜材料、复合材料、生物材料、特殊功能材料、微机电系统中微构件等众多材料和结构的力学测试。
